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摘要說明
隨著奈米技術世代的來臨,半導體先進製程不斷微縮演進,對於晶圓缺陷檢測之精準度愈發殷切,傳統光學晶圓檢測技術因解析度有限而遭遇瓶頸,本公司所生產具備高解析度之電子束晶圓缺陷檢測機台,在客戶製程良率提升上扮演關鍵的角色,並已躍居為半導體先進製程之主流檢測設備。